TFT tehnoloģija tika izstrādāta 20. gadsimta 90. gados. Tas pieņem jaunus materiālus un jaunus procesus liela mēroga pusvadītāju visu integrālās shēmas ražošanas tehnoloģijai. To izmanto šķidro kristālu (LC), neorganisko un organisko plānslāņa elektroluminiscences (EL un OEL) plakano ekrānu displejiem. pamats. TFT ir atsevišķa plāksnīte, piemēram, stikla vai plastmasas substrāts (protams, tas var būt arī uz plāksnītes), izmantojot uzsmiegšanas un ķīmiskās nogulsnēšanās procesus, lai veidotu dažādas plēves, kas nepieciešamas shēmu ražošanai, un liela mēroga pusvadītāju integrālās shēmas (LSIC) tiek ražotas, apstrādājot plēves. . Kristāla substrātu, kas nav atsevišķi, izmantošana var ievērojami samazināt izmaksas, un tā ir tradicionālo liela mēroga integrālu shēmu paplašināšana, lai tās paplašinātu līdz liela mēroga, daudzfunkciju un zemu izmaksu virzieniem. Tehniski grūtāk ir ražot TFT, kas kontrolē pikseļu (LC vai OLED) pārslēgšanas veiktspēju uz liela laukuma stikla vai plastmasas substrātiem, nekā ražot lielformāta IC uz silīcija plāksnītēm. Prasības ražošanas videi (attīrīšanas pakāpe ir 100), prasības izejvielu tīrībai (elektroniskās speciālās gāzes tīrība ir 99,999985%), un prasības ražošanas iekārtām un ražošanas tehnoloģijai pārsniedz pusvadītāju liela mēroga integrāciju. Tas ir mūsdienu liela mēroga ražošanas tops. Tehnoloģijas. Tās galvenās iezīmes ir:
(1) Liela platība: 20. gadsimta 90. gadu sākumā ražošanā tika nodots pirmās paaudzes lielformāta stikla substrāts (300 mm×400 mm) TFT-LCD ražošanas līnija. Līdz 2000. gada pirmajai pusei stikla substrāta platība bija paplašināta līdz 680 mm×880 mm), un stikla substrāta izmērs bija 950 mm×1200 mm. Tiks nodots ekspluatācijā arī stikla substrāts. Principā nav platības ierobežojuma.
(2) Augsta integrācija: 1,3 collu TFT mikroshēmai, ko izmanto šķidro kristālu projekcijai, izšķirtspēja ir XGA, kas satur miljoniem pikseļu. 16,1 collu TFT masīva amorfa silīcija plēves biezums ar SXGA izšķirtspēju (1280×1024) ir tikai 50nm, un TAB ON GLASS un SYSTEM ON GLASS tehnoloģijas, tās IC integrācija, prasības aprīkojumam un piegādes tehnoloģijai un tehniskās grūtības Visi pārsniedz tradicionālo SNI.
(3) Jaudīgas funkcijas: TFT pirmo reizi tika izmantots kā matricas atrašanās vietas ķēde, lai uzlabotu šķidro kristālu gaismas vārsta īpašības. Augstas izšķirtspējas displejiem, pateicoties sprieguma regulēšanai diapazonā no 0 līdz 6V (parasti no 0,2 līdz 4 V), tiek panākta precīza objekta vadība, kas ļauj LCD sasniegt augstas kvalitātes un augstas izšķirtspējas displejus. TFT-LCD ir pirmais plakanais paneļa displejs cilvēces vēsturē, kas displeja kvalitātē pārsniedz CRT. Un cilvēki sāk integrēt vadītāja IC uz stikla substrāta, un visa TFT funkcija būs jaudīgāka, ko nepārspējamas tradicionālās lielformāta pusvadītāju integrālās shēmas.
(4) Zemas izmaksas: stikla substrāts un plastmasas substrāts pašos pamatos atrisina liela mēroga pusvadītāju integrālās shēmas izmaksu problēmu un paver plašu pielietojuma vietu lielformāta pusvadītāju integrālu shēmu pievadiem.
